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平臺概況
深圳超滑技術平臺
深圳清華大學研究院超滑技術研究所超滑技術實驗平臺,簡稱深圳超滑技術平臺(SSTP),由深圳市政府和坪山區政府支持建設,深圳清華大學研究院超滑技術研究所負責搭建運營,于2021年在深圳坪山落成,是集自超滑技術創意和研究公共實驗開發、創新技術產業化支撐、公共微納加工技術服務和科技創新教育重要技術支持為一體的顛覆性技術應用研發平臺。
平臺擁有世界一流的自超滑研發/微納加工設備,主要工藝能力包括:光刻、鍍膜、刻蝕、鍵合,拋光,表征測試,封裝,器件測試等。在微納加工領域為企業、科研院所及高校提供工藝整合、共同工藝開發等技術服務。
平臺總建設面積近2600余平方米,其中潔凈實驗室面積達1000平方米(百級潔凈區130平方米,千級潔凈區870平方米)創新實驗區500平方米,分布式和Ballroom相結合的潔凈室布局滿足從研發到量產的需求。
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地址
深圳市坪山區蘭景中路16號坪山高新區產學研基地A座4層