超滑技術實驗平臺：微納制造平臺工藝技術與業務發展探索
來源：清力技術 2024-09-30
隨著科技進步和需求發展，產品智能化、器件集成化、元件微型化、工藝微納化趨勢加速。近年來，國內新建了一批微納加工平臺，正在助力微納領域的新技術成為新產品，從實驗室走向產線。
9月12日，由深圳市微納制造產業促進會主辦的第五屆中德(歐)合作創新-微納光學制造論壇在深圳國際會展中心成功舉辦。促進會副會長單位——深圳清力技術有限公司超滑技術實驗平臺負責人潘旭捷發表題為《微納制造平臺工藝技術與業務發展》的精彩演講，展示了微納技術、超滑技術的應用前景以及微納制造平臺運營情況。
9月12日，由深圳市微納制造產業促進會主辦的第五屆中德(歐)合作創新-微納光學制造論壇在深圳國際會展中心成功舉辦。促進會副會長單位——深圳清力技術有限公司超滑技術實驗平臺負責人潘旭捷發表題為《微納制造平臺工藝技術與業務發展》的精彩演講，展示了微納技術、超滑技術的應用前景以及微納制造平臺運營情況。
微納技術的現狀與未來展望
潘旭捷首先回顧了納米技術的發展歷程，指出盡管半導體技術已取得顯著進展，但費曼先生預言的微納機器等愿景尚未實現。他強調，微納技術已經在多個領域催生了17項諾貝爾物理學和化學獎，并在我國科研界占據重要地位。展望未來，他提到第四次工業革命將以AI為核心，而AI的發展需要大量傳感器、執行器以及對能源的高效利用。微納技術將在這些領域發揮關鍵作用，推動物理世界與數字世界的深度融合。
超滑微系統的創新與應用
在介紹超滑微系統概念時，潘旭捷指出，目前80%的機械組件失效與摩擦磨損有關，而在微小尺度下，減少或降低摩擦磨損的傳統方法則完全失效，摩擦磨損問題成了研發微小器件的攔路虎，而自超滑（原“結構超滑”）則是解決這一問題的顛覆性方案。他詳細介紹了自超滑技術的原理，即在二維材料層間的弱范德華作用和非公度接觸的條件下，實現兩固體表面接觸滑動時，磨損為零、摩擦系數近零的狀態。這一技術不僅具有堅實的理論基礎，還在材料制備、量產技術及工藝優化等方面取得了突破。目前，該技術已成功應用于MEMS開關、高效無磨損摩擦發電機等產品，并已與國內多家頭部企業建立技術合作，展現出廣闊的應用前景。
微納加工平臺的建設與運營
潘旭捷還介紹了深圳超滑技術研究所微納加工平臺的建設情況。該平臺擁有2600平米的實驗室，包括1000平米的潔凈間，配備了200余項微納加工設備，具備6至8英寸MEMS芯片的流片能力。平臺采用FAB廠模式進行生產管理，擁有專業的加工團隊和完善的管理制度。在標準工藝基礎上，平臺還開發了多種特色工藝，支持光學、MEMS器件及生物芯片等領域的客戶需求。平臺致力于成為概念驗證和小批量生產的快速通道，助力科研機構和企業的技術創新與成果轉化。
微納制造產業的未來機遇
最后，潘旭捷展望了微納制造產業的未來發展趨勢。他認為，微納制造將借鑒晶體管發明后的產業發展模式，通過開放合作和產業化探索，催生新的產業機遇。他強調，深圳作為創新之城，為顛覆性技術的產業化提供了肥沃土壤。深圳超滑技術實驗平臺將繼續致力于超滑技術的研發與應用，推動微納制造產業邁向更高水平，為第四次工業革命貢獻力量。
